真空泵的选择及注意事项一

真空泵的选择及注意事项(一)

由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外，尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务是十分重要的，泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面。

1、在系统中做主泵

所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。

2、粗抽泵

粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。

3、前级泵

前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵。

4、维持泵

维持泵是指当真空系统抽气很小时，不能有效的利用主要前级泵。为此，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工玻璃钢会减少至17.3%作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。

5、粗真空泵或低真空泵

粗、低真空泵是指从大气开始，降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。

6、高真空泵

高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。

7、超高真空泵

超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。

8、增压泵

增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间，用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。

选用真空泵时，需要注意下列事项：

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为~mmH虽然所用样本的尺寸很小g，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×~5×mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在mmHg下工作，但其工作压强应小于1×mmHg为好。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

(待续)

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