碳化硅薄膜在低辐射镀膜玻璃中的应用

1、现状

近年来，在可钢化lowe玻璃（大板膜玻）在我国得到一定的推广，但是整体质量并不够高，因为现有的lowe玻璃抗机械划伤性能不够高，抗高温氧化能力还不够强，高性能产品成本很高，因此解决上述问题已经迫在眉睫。

在大面积镀膜领域，SiNx介质层膜的应用越来越广泛。SiNx具有较好的抗腐蚀、抗机械划伤的、抗高温氧化能力。因此SiNx作为外层保护层来使用，目前出现的可钢化lowe玻璃的外层也是用的SiNx材料。可钢化lowe玻璃投入市场使得lowe玻璃的应用得到了很大范围的推广。但是lowe玻璃在民用建筑领域使用的还是不够广泛，其重要的问题就是成本较高。降低lowe玻璃的成本将成为普及lowe玻璃的重要议题，也将成为各大玻璃加工企业热门的话题。Lowe玻璃成本的主要是由于生产成本太高，解决生产成本的有效的途径是提高生产效率。在目前大多数企业是提高玻璃在镀膜机中的走速、提高溅射靶材的功率来提效率高率降低成本的。在保证lowe玻璃膜层厚度的时候，玻璃的走速越快与之对应的溅射靶材功率将越高。在lowe玻璃膜层中介质层SiNx的厚度很厚。随着硅铝靶的功率提高，掉渣问题会越来越严重。其根本原因受到硅铝靶溅射速率的限制。

2、碳化硅材料的介绍

碳化硅（SiC）是用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑为原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用广泛、经济的一种。可以称为金钢砂或耐火砂。碳化硅是用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑（生产绿色碳化硅时需要加食盐）等原料在电阻炉内经高温冶炼而成。碳化硅晶体结构分为六方或菱面体的αSiC和立方体的βSiC（称立方碳化硅)。αSiC由于其晶体结构中碳和硅原子的堆垛序列不同而构成许多不同变体，已发现70余种。βSiC于2100℃以上时转变为αSiC。碳化硅的硬度很大，莫氏硬度为9.5级，仅次于世界上硬的金刚石（10级），具有优良的导热性能，是一种半导体，高温时能舒缓反应。